简介：针对碟片晶体面形高精度检测面临的动态环境干扰与空间适配性的难题,提出一种基于共光路架构的新型大口径抗干扰迈克耳孙干涉面形检测方案.将传统迈克耳孙干涉仪单臂动态光路改为双臂共光路架构,结合偏振分光棱镜与四分之一波片构建正交偏振态共光路系统,利用双臂波前畸变补偿机制,有效抑制空气扰动与机械扰动引入的相位噪声.结合傅里叶变换轮廓术的自适应面形重构算法,实现高动态环境下碟片晶体面形三维重建.研究揭示了动态干扰对测量精度的多维度影响机制:多因素耦合作用下,系统对动态扰动的敏感性显著提升,且拍频效应的非线性扩展是多次叠加干涉中相位包裹畸变与面形非对称的成因.仿真和实验表明,相较于传统单臂动态光路干涉仪,所提方案在抗干扰能力与空间适配性方面实现突破,显著提升了高动态环境下大口径碟片晶体面形检测的精度与稳定性,为kW级碟片激光器中碟片晶体的高精度、抗干扰面形检测提供了可靠的理论依据与技术支撑.展开
