自主可控的功率半导体器件仿真工具研发进展(一):二维计算的精度
简介：功率半导体器件是电力电子装备电流开断和电能转换的核心.作为全球最大的功率半导体消费国,中国功率器件自给率低,严重依赖进口,亟需自主化突破.功率半导体器件仿真软件作为器件多物理场分析、设计优化的必备工具,研发难度大、周期长、见效慢.国内使用的功率半导体TCAD软件几乎全部由Synopsys、Silvaco等国外公司垄断.作为国产替代的第一步,自2019年以来,团队按照"先追赶、再并跑、最后超越"的思路,开展功率半导体器件国产仿真工具的研发工作.该文在分析功率器件物理模型、求解难点的基础上,介绍了自主可控的功率半导体器件二维仿真工具的初步研发进展,与垄断商业软件Synopsys TCAD Sentaurus Device计算结果开展了详细比对,在测试的算例和物理模型上,自研软件二维计算的精度向国际垄断商业软件看齐.展开
学者：庄池杰石清元林波彭晞雨吴丹刘志成李立施连军任李鑫纪瑞朗余占清吴锦鹏魏晓光曾嵘
关键词：功率半导体器件仿真工具二维漂移扩散模型国产替代
在线出版日期：2025-03-05 （网站首发日期）
